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AutoGlow plasma surface treatment instrument
    Publish time 2019-10-13 16:04    






莱斯大学            哈佛大学            麻省理工


备注1:Rice University has an AutoGlow in the Halas Research Lab. The system is used for removal of polymer resists for applications in plasmonics and nanophotonics and prepare samples for surface-enhanced molecular spectroscopy.


备注2:Harvard University’s AutoGlow system in the Gordon McKay lab. The system is used for organic removal, surface modification and serves the needs of several researchers working on DNA research and human genome sequencing.


备注3:Pictured is the AutoGlow at the Microsystems Technology Lab at MIT. This AutoGlow is used for Photoresist removal, cleaning and surface modification. This lab does research in MEMS, BioMEMS, Nanotechnology and Photonics.



       表面改性(亲水性和赤水性),等离子清洁,等离子活化,刻蚀以及反应离子刻蚀,等离子沉积等应用 。
        GlowResearch是美国著名的真空系统解决方案供应商,其旗下的OptiGlow和AutoGlow全自动多功能等离子表面处理系统应用于小型及研发实验室的使用和发展历史已经超过了20年,随着研发提升及软硬件更新,现在的系统不但拥有使用的高稳定性和高效率外,其集成化设计和友好操作界面使得用户上手操作及参数调整都非常简易。
      其全球客户群已经超过了3000多套,遍布欧美各大微纳米加工实验室及化学生物实验室,包括莱斯大学,麻省理工学院,哈佛大学,尤利希中心,法国生物化学与生物分子研究中心,法国应用光学研究所,德国生物技术研究所,德国航空航天研究所,德国马普所,英国国家工程实验室等等。
       射频等离子体是广泛使用和通用性好的等离子体技术,它应用于医疗和半导体的宽广领域内。在通用工业/医疗行业,需要清洁、涂覆或化学改性的材料表面被浸入到射频等离子体的能量环境中,除了射频等离子体的强烈的化学作用外,其定向效应也起到了一个重要的作用。携带动量的粒子到达材料表面后可以物理地去除更加化学惰性的表面沉淀物(如金属氧化物和其它无机物沉淀)以及交联聚合物以锁定等离子体的处理。
        AutoGlow—高纯度石英样品室和石英样品托,3个气体流量质量控制器,150mm基底尺寸,13.56 MHz射频激发等离子体可变功率从10到300W,全自动协调校准,压力可读,氮气清洗,CE认证标识。电容耦合的,只需按一个按钮便可全自动操作整个处理流程。使用在等离子清洁,键合前处理包括活化胺化产生官能团, 刻蚀薄膜,去除有机物,光刻胶灰化等。桌面紧凑式设计,最低可在10W功率运行。
        AutoGlow 200—可以处理200mm基底(8寸晶圆),和反应离子刻蚀RIE(可选ICP电感耦合等离子体源)和等离子体处理。3个气体流量质量控制器–氧气,氩气或氟化气体(CF4), 13.56 MHz射频激发等离子体可变功率从10到600W,全自动协调校准,压力可读,氮气清洗,CE认证标识,高品质铝样品室。使用在等离子清洁,键合前处理包括活化胺化产生官能团, 刻蚀薄膜,去除有机物,光刻胶灰化等。桌面紧凑式设计,最低可在10W功率运行。具有观察窗用来监控OES发射光谱和处理终点检测。
          全自动控制系统可以使用户轻松进行操作处理样品, 一旦系统检测真空达到预设真空值后, 便自动开启并控制气体流量进入,这个过程不需要任何其他操作因素。系统也可配置两路或三路气源和同时使用不同比例的混合气源(比例可以任意调整)然后通过一个额外的阀门来自动调整任意比例两种不同混合气源.系统特别设计用于等离子体表面处理包括光刻胶灰化, 有机物去除, 清洗, 活化, 改性,沉积和刻蚀,具有功能多, 易操作性强,全自动化无需调试,可靠性高, 低成本等优点, 广泛应用于半导体制造, 微电子加工, 生命科学制造和前处理等。可适用多种工艺气体,如氩气Ar,氧气,空气及氟化合物如CF4或SF6,通过两个气体质量流量控制气体以及特殊阀门控制任意气体混合比例。除了结构紧凑和集成度高外,出色的射频激发等离子体配合出色的工艺控制,失效保护系统和数据采集系统使其很容易使用在实验室和生产环境中。




          湿法刻蚀的缺点在于各向同性横向侧面刻蚀和垂直刻蚀是一致的速度。干法刻蚀的目的在于制作一个各向异性刻蚀-意味着刻蚀是定向的。一个各向异性刻蚀性能对于一个好的微纳图形转移是至关重要的。反应离子刻蚀RIE就是这种标准的干法刻蚀方式。RIE典型的反应气体是O2 和 CF4.
功能一:Plasma Cleaning等离子清洗:
应用于: - 金属表面超精细清洗
- 塑料与弹性体表面处理
- 一般玻璃表面陶瓷表面处理和清洗
- 去除样品表面氧化物和碳污染物




功能二:Plasma Surface Activation等离子表面活化




功能三:Plasma Coating 等离子镀膜



功能四:Plasma Surface Etching 等离子表面刻蚀
-POM、PTFE、PEP、PFA
-PTFE部件
-构建硅基结构
-光刻胶灰化